功能和性能
在多个生产基地,PI都具有在无尘室条件下进行产品制造和质量鉴定的能力。这种能力还在根据市场需求不断拓展和提高。
根据不同位置的工艺流程,PI或其合作伙伴能按照规定清洁每个位置的零件和产品,然后检查清洁结果,确认是否存在颗粒污染并在必要时确认有无其他类型的污染。
经校准的颗粒测量装置使PI能按照ISO 14644-1的规范监控无尘室的质量。
PI还可测量操作条件下其自身产品产生的颗粒的数量。
标准
自2001年起,无尘室的分类不再执行US FED STD 209E,取而代之的是ISO 14644-1。以下表格中列出的有些无尘室的分类同时基于两种标准。
无尘室等级符合ISO14644-1标准
每立方米的颗粒数
等级 | 0.1微米 | 0.2微米 | 0.3微米 | 0.5微米 | 1.0微米 | 5.0微米 |
---|
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 |
无尘室等级符合美国FED STD 209E标准
每立方米颗粒数
等级 | 0.2微米 | 0.3微米 | 0.5微米 | 5.0微米 |
---|
100 | 26,486 | 105,994 | 3531 | |
1,000 | 35,315 | 247 | ||
10,000 | 353,147 | 2,472 | ||
100,000 | 3,531,470 | 24,720 |
可用无尘室/超洁净作业场所
除了无尘室,PI还拥有安装在无尘室内部或外部的超洁净作业场所。与各自的环境相比,它们的目的在于进一步减少特定工艺流程步骤中的颗粒污染。
以下概览按照位置列出了现有和筹建设施。