具有高动态性和力控制选项的音圈促动器

音圈驱动器表现出很高的速度,可实现快速步进和稳定。无磨损柔性铰链导向或机械式导向均可供货。供选配的力控制可用于压敏型设备测试中的单机解决方案。 

A-131 带空气轴承的PIglideVC音圈线性平台

高性能小型纳米级定位系统