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| PICMA® / PICA | PiezoWalk® | PILine® | Q-Motion® | PiezoMike | |
|---|---|---|---|---|---|
| 原理 | Piezo | 步进 | 超声波 | 惯性 | 惯性 |
| 分辨率 | 亚纳米 | 亚纳米 | 亚微米 | 亚纳米 | 20nm |
| 速度 | - | 可达10mm/s | 高达几百mm/s | 大于10mm/s | 约0.2mm/s |
| 几微秒范围的响应时间 | 高动态扫描模式 | 静音（非常高的工作频率） | 静音（非常高的工作频率） | 高稳定性 | |
| 行程 | 直接可达约300µm，带杠杆放大时为2mm | 仅受转子长度限制 | 仅受转子长度限制 | 仅受转子长度限制 | 可达约50mm |
| 力 | 高达100kN | 高达800N（NEXLINE®） | 可达40N | 可达10N | 保持力>100N，进给力>20N |
| 高刚度 | 静止状态下自锁 | 静止状态下自锁 | 静止状态下自锁 | 静止状态下自锁 | |
| 多促动器驱动器产生步进运动 | Single-actuator drive | 单促动器驱动器 | 单促动器驱动器 | ||
| 控制模式 | 模拟电压 | - | 高频交流电压（正弦） | 高频交流电压（修正锯齿） | 高频交流电压（修正锯齿） |
| 电压范围 | 150V（PICMA®），1100V（PICA®） | 55V（NEXACT®），500V（NEXLINE®） | 120V，200V，微型电机明显低于 | <48V | 至100V |
| 非常适用于... | 高动态下的纳米精确定位 | 纳米精确定位 | 次微米精度定位 | 纳米精度及长期稳定定位 | 长期稳定定位 |
| 杠杆放大、带导向的系统 | 保持力较大的准静态应用 | 快速步进-趋稳 | 保持力较大的准静态应用 | UHV环境 | |
| 压电陶瓷扫描管 | 行程高达几毫米 | 高速扫描模式 | |||
| 微调 | 粗调和微调 | 恒定低速下的操作 | |||
| 力的产生 | 力的产生 | ||||
| 主动隔振 | 主动隔振 | ||||
| 恒定低速下的操作 |
