电容传感器

距离、运动和振动的绝对测量
可行的测量范围为10µm至2mm
直接计量 : 运动物体的直接位置测量
只有最小加热，没有散射光
真空兼容10-9帕
免维护，无磨损
高带宽至10 kHz
高温长期稳定 (<0.1 nm/3 h)
为了最大温度稳定性的殷刚选项 (5 × 10-6/K)
紧凑型单电极或双电极传感器，定制设计
在各种配置水平处理电子产品，从模拟原始设备制造商（OEM）版本到可随时扩展的模块化设计的数字控制系统。

设计包括两个导电表面：高频交流电在两个表面之间产生均匀电场。由于具有平行板电容器，电容与两个表面之间的距离直接相关。测量的量是电场电容的变化。

具有额外保护环电极的PI配置可在活动区域产生一个非常均匀的场。此外，来自PI的所有电控均使用可纠正两个传感器台之间平行度误差的集成线性化方法。根据所使用的材料，电容传感器提供独立于热影响的良好的长期稳定性。

C 电容

A 有源传感器表面

d 传感器和目标表面之间的距离

ε0 常数

εr 电容器极板之间材料的介电常数

容量式传感器 — 电容C与有源传感器表面A成正比，d是传感器和目标表面之间的距离，Ɛ0是一个常数，Ɛr是电容器极板之间材料的介电常数，一般为空气。

压电陶瓷纳米定位系统步骤 — 压电陶瓷纳米定位系统的0.3nm增量。电容传感器（底部）比激光干涉仪（顶部）显示出更高的分辨率。

合理地安装在精密定位系统中，电容传感器可直接测量运动部件相对于基体的实际位置（直接计量）。传动系统、执行机构，杠杆臂，或导向系统的误差均不影响测量。从而发生在传动系统中的任何漂移或滞后会自动消除。由于外部误差可通过传感器及时检测并反馈，因此位置控制压电陶瓷纳米定位系统可实现卓越的运动性、长期的高稳定性和刚性、快速响应的位置伺服回路。

单台电容e 传感器可测量各种导电表面，且便于机械处理，例如，在安装或电缆敷设过程中。其使用也更加灵活，例如检测垂直于测量方向的运动。

电容位置传感器可集成在定位系统中或附着于外部。通过双台传感器，测量在两个具有匹配表面的指定传感器台上进行，从而现场精度可给出最佳结果。

压电陶瓷定位系统的可重复性 — 测量已证明了具有1.4nm(1 σ-值)电容传感器的压电陶瓷定位系统良好的可重复性。

具有电容传感器的纳米定位系统的线性度。用于压电控制和位置分析的模拟电控可实现小于0.02%的非线性度（控制输入10V时15µm移动范围）

处理和测量电控仅产生最小的噪音，并使用线性化系统 (ILS)，弥补电容器板间平行度误差的影响。. 数字控制器通过额外的线性化算法与高阶多项式提供最高的精度。所有系统均在PI校准并根据预期带宽和测量范围进行优化。PI为不同配置水平的电容传感器提供信号条件电控，从模拟OEM版本到可随时扩展的模块化数字控制器系统。

应变片传感器包括一个薄金属或半导体箔（压电电阻），附着于压电陶瓷或为了提高精度，附着于弯曲平面的导向系统。这种类型的位置测量是接触和间接的移动平台的位置取决于杠杆、导向或压电堆的测量。应变片传感器从其扩展中获得位置信息。具有多个应变片传感器的全桥电路提高了热稳定性。

PISeca单电极电容传感器可测量各种导电表面，且便于机械处理，例如，在安装或电缆敷设过程中。其使用也更加灵活，例如检测垂直于测量方向的运动。用于PISeca的E-852独立处理电控仅产生最小的噪声，并集成线性化系统。所有系统均在PI校准并根据预期带宽和测量范围进行优化。. >> PISeca传感器和对应的处理电控作为PI的产品提供。