并联运动压电陶瓷定位系统

在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着可以为所有轴设计相同的动态特性，从而大幅降低移动质量。额外优势：并联运动系统可比串行堆叠或嵌套系统设计得更紧凑。单个轴的误差和质量不会累积。由于最小化质量惯性，并联运动系统可提供多达6个水平的自由度和所有轴的高动态。

多轴阶段设计与并联运动允许使用直接平行计量，测量所有有关固定参考的移动平台的自由度。例如，由于力的作用而意外的串扰进入不同轴，因此可检测并实时纠正。这种积极的制导即使在动态运行时，也允许纳米范围内的高弹道保真度。

Kinematics of Multi-Axis Tip/Tilt Systems

来自PI的压电偏摆镜系统基于所有运动方向的单一移动平台并联运动。该系统可实现比切换两个连接的单轴系统更高的线性度，例如，在电扫描装置情况下仍保持紧凑。压电驱动偏摆镜和平台适用于高度动态操作，例如追踪、扫描、图像稳定、消除漂移和振动；同时也适用于光学系统和标本的静态定位。它们允许光束偏移至100 mrad、几微秒的极短响应时间和降至弧度范围的分辨率。PI提供大范围的紧凑型激光束大单位控制系统，用于天文学。

平台由三个彼此呈120°角的压电陶瓷致动器控制。通过坐标变换，运动可以被分割在不同的致动器之间。除了偏摆，平台也可以线性用于Z轴，这很重要，例如，用于校正光路长度（移相器）。下面的公式用于计算偏摆角度和在Z轴的路径范围。A、B和C是相应致动器的线性位移：

平台由一对彼此呈90°角的压电陶瓷致动器控制。四个致动器根据偏摆方向两两单独控制。由于偏摆轴θ_X和θ_Y成正交设置，因此无需坐标系变换。结果是在较大温度范围内完美的位置/角度稳定性。三脚架的设置也是如此，不同的变形保证在较大温度范围内最优的角度稳定性。对于位置控制变形，每个轴的两个传感器的不同评估提供了更好的线性度和分辨率。