六自由度PIMag® 6-D磁悬浮

PIMag® 6-D定位系统是PI与微电子和机电系统研究所以及德国伊尔梅瑙工业大学机电系共同研发的。由于其设计简单，与常用方法相比，这种系统具有一些独特的特征： 平台悬浮在仅由定子中的六个平面线圈产生的磁场上，一个6-D传感器被用来对此磁场进行主动控制。由于平台自身是无源的，无需任何供电线路，运动中不存在任何电缆阻碍平台在广泛的表面区域内进行快速精确的移动，使得运动的自由度更高。 无源平台中磁铁的海尔贝克排列可增大承载能力，使定子中有效线圈所需的支撑平台的能量最小化，并减小热负荷。

海尔贝克阵列由永磁体分块组成，磁化方向在阵列的纵轴方向上互相倾斜成90°，使一侧的场力线互相靠近，增大磁通密度。另一侧，场力线的密度比未受干扰的磁铁中要小。结果，磁场已在短距离上衰减，变得很弱。

为了确保工作区域内的热稳定性，定子中的驱动器线圈被一个扁平的夹层式冷却系统环绕，可实现有效散热，从而使系统操作时线圈上端温度的升高不超过1K。