高分辨率、线性度和紧凑的安装空间
- 20皮米RMS及更好的分辨率
- 紧凑尺寸23 mm×12 mm×5 mm
- 正弦、余弦或正交信号的输出
- 低功耗和低自发热
- 光栅的精度等级150纳米/ 30厘米
- 适用于高真空10-7帕,烘烤至80°C
- 适用于移动范围> 1 mm
- 最大分辨率时的速度高达0.8米/秒的
- BiSS接口用于保证数据交换
小型且具有皮米级分辨率
由PI开发的PIOne高分辨率线性传感器保证小于1纳米的定位分辨率和充分测量分析。 PIOne线性编码器采用技术:PIOne的测量头部包括马赫-森德干涉仪,沿线性刻度移动。正弦信号和余弦信号通过网格反射的信号产生。额外的插补占据系统中很小部分的分辨率。传感器头部同时产生方向传感参考。传感器头部测量为23 x 12 x 9.5 mm。
20皮米分辨率
增量式传感器分辨率,即传感器头沿刻度的最小可测量位移,主要受传感器的信号周期的长度、处理电子的噪声和电子内插因子的信号的影响。 但内插因子的水平受信号噪声的限制,只能在一定范围内选择。出于这个原因,尽可能小的信号周期是优选的,即使具有较低的内插因子,也可具有较高的分辨率。 由于其0.5 µm的较小的信号周期和优化的信号处理,PIOne传感器可实现20皮米及以上的分辨率。在这种情况下,插值因子可为4000,且没有噪音。
低于1%的线性偏差
0.5 µm的较小信号周期、等级优于150 nm/30 cm的精度和高质量的信号可使传感器的线性偏差仅为< 1%。PIOne的传感器头部包含Mach Zehnder干涉仪,其中光路是均衡和完全对称的。这允许环境的影响,如温度和湿度补偿。 使用的激光二极管以较低性能工作,以减少传感器头部的热量产生。为了最大程度地避免测量系统内部热量的产生,光路可通过PIOne传感器头部的光纤耦合。 由于PIOne传感器的信号可通过不同的PI控制器处理,因此传感器可被用于定位具有不同驱动技术的系统。