磁轴承

磁悬浮确保平面在线性和旋转上均具有优秀的导向精度：被动杆悬浮在磁场上，且由磁场有源导向。序列误差通过非常精确的非接触式传感器测量和补偿。与空气轴承相反，这也是非常准确的，磁轴承也可用于真空。高精度定位系统的新展望：PIMag®6-D是针对具有磁性驱动和6-D传感器的平面定位系统的一项研究。该系统可检测和补偿与理想路径在全部六个运动轴上的偏差。 高精度定位系统的新展望：PIMag®6-D 是针对具有磁性驱动和6-D传感器的平面定位系统的一项研究。该系统可检测和补偿与理想路径在全部六个运动轴上的偏差。