电容测量系统达到更大移动范围的界限：无论是传感器表面变大或分辨率和线性减小。实现10毫米的移动范围的精密定位系统使用增量式编码器作为位置传感器。
位置传感器配置与平台运动间接测定。通常情况下，传感器被集成在传动系中，例如，通过电机轴上的旋转编码器。优点是传感器容易附着。然而，如果仅在驱动侧间接测量运动，反弹和机械发挥将影响测量结果。
旋转编码器在传动系中的旋转点上实现，例如，电机轴。为了确定相对位置，控制器计算编码器信号（脉冲）。为了测量绝对位置，必须使用限位开关或参考点开关信号作为参考。一个典型的旋转编码器宽度约为0.1 µm。
无接触式光学直线编码器直接在移动平台上测量实际位置（直接测量）。传动中的误差，例如非线性、机械发挥和弹性变形可因此不考虑。可实现线性编码器的分辨率下降到纳米范围内。
绝对编码器提供关于运动平台绝对位置的额外信息。
转速表是用来测量和控制速度的。或者直接测量，编码器位置数据的时间过程也可用于控制速度。
PIOne线性编码器采用技术：PIOne的测量头部包括马赫-森德干涉仪，沿线性刻度移动。
由PI开发的PIOne高分辨率线性传感器保证小于1纳米的定位分辨率和充分测量分析。
