带母体位置测量和闭环控制的混合概念

电机（蓝色）和配备单个高分辨率线性编码器（绿色）的压电陶瓷促动器（黄色）的常规闭环控制可实现极其恒定的速度和较高的定位精度。

混合驱动器中，移动平台通过一个高度刚性的压电陶瓷促动器以及无空回、无摩擦的柔性铰链接头从机动化的驱动装置中解耦。定位模式中，设置为几纳米仅需几微秒，且最小增量可在编码器分辨率范围内得到可靠实现。 动态操作中，通过在机动化驱动器的运动中补偿不规则行为，压电陶瓷促动器可保证非常恒定的速度。