装配、半导体制造、激光材料加工或检测系统中的定位和运动任务均需要稳健可靠的解决方案。亚微米级精度、准确的位置重复性和高产出同样必不可少。只有在定位系统的机械部件、驱动技术和控制电控能够互相之间完美匹配时,才能满足上述要求。
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