- 产品 - Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG
双相惯性驱动小型线性平台,实现紧凑空间内的精密定位与长期稳定性

集成式压电双相惯性驱动(BIX)采用粘滑效应原理,实现速度高达14mm/s的高动态微运动。 10nm的最小位移和高达6nm的分辨率,满足光束操控中光学元件对准等纳米级精密定位需求。 集成自锁机构确保位置稳定性,为长期稳定的测量与对准流程提供关键支撑。
紧凑灵活的设计
25×29×11mm微型尺寸配合可堆叠设计,B‑421 BIX小型线性平台可轻松构建多轴系统。 这种灵活性使其成为复杂定位和对准应用的理想解决方案。
结构紧凑,有效载荷高
B‑421 BIX线性平台最大驱动力为2.5N,在机械负载下仍可实现精密运动。 最大有效载荷:0.5kg(XY向运动);0.15kg(Z向运动) 该平台由E-881 BIX运动控制器控制,深度匹配驱动技术。
严苛高科技应用
凭借高定位精度、出色的分辨率以及狭小空间内的长期稳定性等特点,这款小型线性平台满足复杂工业应用和显微领域的严苛需求。 通过光学元件精密定位,实现精准的光束整形与‑偏转。 在半导体行业,这种应用在微芯片的质量控制环节尤为常见。 在显微技术领域,光束的精准偏转对TIRF或STED等现代超分辨显微技术尤为重要。
Physik Instrumente (PI)公司简介
PI总部位于德国卡尔斯鲁厄,专注于工业自动化、光子学、半导体、显微镜和生命科学等细分市场,致力于高精度定位技术和压电陶瓷应用的市场与技术发展。五十多年来,PI与全球客户密切合作,不断地在技术上寻求可行的突破。 各种驱动技术、内部开发的传感器技术、电子和控制技术为此提供了基础。 PI产品组合范围广泛,从组件到子系统,再到定制的完整解决方案。 公司已拥有和正在申请的专利超过560项,体现了公司在精密定位和压电技术领域的深厚实力。PI在全球范围内运营,在欧洲、北美和亚洲拥有9个生产基地以及16个销售与服务子公司。