- 其它 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
具有压电电机的N-565线性平台系列
PI在N-565线性平台系列中使用压电步进驱动器。驱动原理在单一紧凑单元内实现了几纳米、高导向精度和高力的重复性。线性平台因此实现了重要的定位要求，例如，显微镜的探头、光学或机械元件、半导体行业、激光设置或真空应用。
紧凑和纳米级精度
平台具有65 mm宽度，高度仅有20 mm，工作行程为13、26或52 mm。根据行程的不同，长度分别为80、110和160 mm。对于位置控制测量系统，PI使用基于集成Mach Zehnder干涉仪的内部开发光学线性编码器。测量原理可实现0.5 nm分辨率和2 nm的最小位移。
压电驱动器具有自锁功能；如果目标位置已达到或系统关闭，定位单元将保持位置，没有电流和热量生成。定位平台的保持力为10N，最大速度是10 mm/s。高导向精度通过带强制导向的交叉滚子轴承实现。
完美匹配：网络控制器和软件
线性平台可通过紧凑型E-861控制器便捷操作，支持不同类型的压电陶瓷步进驱动器运动类型，可调整至其力学要求。由于其网络能力，其可使用单一计算机接口同时控制多达16个控制器。所有参数可通过软件设置和检查。对于启动和系统配置，PIMikroMove程序包含在交付范围内，可通过NI LabView驱动和DLL连接至客户软件。