欧盟资助的14ACMOS项目：PI公司参与半导体制造技术节点的开发

用于晶圆精密定位的压电陶瓷平台

“本项目按照协议编号101096772获得欧盟的共同资助，并获得芯片联合企业及其成员的支持。”

当前，使用3 nm技术制造的高端微芯片标志着技术的最前沿。2 nm技术节点的生产技术预计最早将于明年推出，而1.4 nm（即14埃）技术预期将于2027年问世。这项耗资9500万欧元、名为14ACMOS的研究项目得到了欧盟和“芯片联合企业”(Chips JU)的共同支持。项目集结了来自六个国家的二十五个合作伙伴， 汇集了欧洲半导体行业领军供应商的技术诀窍和开发专业知识，由全球半导体制造光刻系统领军者、位于荷兰的ASML公司负责协调。

作为半导体行业的系统合作伙伴，PI公司凭借数十年的行业经验，其定位系统在全球半导体生产的各个环节中占据重要地位。作为纳米定位专家，其产品在光刻、质量控制计量等领域得到了广泛的应用。在14ACMOS项目中，PI公司负责开发的定位系统必须能在真空环境下准确且高度动态地运行，以确保项目在经济上具有可行性。

埃(angstrom)是原子间距离的常用度量单位。一埃等于十万分之一毫米或0.1纳米(nm)。举例来说，人类头发的粗细约为80,000纳米。

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关于Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

PI总部位于德国卡尔斯鲁厄，在工业自动化、光子学、半导体、显微镜和生命科学等细分市场中，是高精度定位技术和压电陶瓷应用的市场与技术佼佼者。在与国际客户的密切合作中，PI的约1,500名专家五十多年来不断地在技术上寻求可行的突破。各种驱动技术、内部开发的传感器技术、电子和控制技术为此提供了基础。PI产品组合范围广泛，从组件到子系统，再到定制的完整解决方案。公司的已批及待批专利已达508项，由此彰显了公司在精密定位和压电技术领域的领军地位。PI在全球范围内运营，在欧洲、北美和亚洲拥有9个生产基地以及16个销售与服务子公司。