- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
用于行程至100 µm的最小的并联运动压电陶瓷系统:P-616NanoCube®用于三个空间轴的精确定位
P-616的尺寸仅有40 × 40 × 40 mm,重量仅有80 g。三个空间轴的行程为100 µm,分辨率是0.3 nm。高分辨率通过非接触式电容传感器直接实现。
为了实现NanoCube®的性能特点,PI使用具有三个杠杆放大PICMA®促动器和无摩擦柔性铰链的并联运动设计。驱动概念实现了紧凑的外形和系统的高刚性。PICMA®促动器在极端环境下也具有较长的使用寿命。这使得它可以在-20°至80°的温度下和10-6真空下操作NanoCube®。
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为了确保定制和顺利运作,P-616配有存储系统所有必要参数和单个产品信息的ID芯片,并使之电子可读。如果连接新的或优化的电控,设备可直接使用,无需再次校准。