位于DESY(德国)PETRA III的P06光束线的X-射线断层成像平台设置可用于研究需要冷却和真空环境的样本。
样本的定位采用一个由三个标准的真空兼容型PI线性平台组成的堆叠型系统,可进行XYZ向定位,顶部带一个360度的转台。XYZ轴上样本的精密对准通过多个压电马达平台的组合实现,这些平台具有相同的真空兼容性。该装置可将样本冷却至液氮级别。
除了运动和定位元件,真空密封件也是由PI设计制造。
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PI驱动技术对比:压电电机、步进驱动器、超声波驱动器和压电陶瓷惯性驱动器