采用同步光束进行脉冲激光沉积(PLD)原位表征
在ANKA同步辐射装置(卡尔斯鲁厄,德国)的NANO光束线中,同步辐射的X-射线衍射和反射可用于研究薄膜在真空条件下的结构属性,这也是现代材料研究的一部分。
为了在光束线中直接使用,开发了一体化系统,其中脉冲激光用于将固体靶材带到气相中,然后使其沉积作为衬底上的一层。光束线PLD系统的特点是激光加热(可将衬底加热至1200摄氏度)以及简便加载。一个特殊特征是:由于样本操纵器的尺寸小,即使衬底高度较低,也可实现X-射线的较宽角度范围。
在ANKA同步辐射装置(卡尔斯鲁厄,德国)的NANO光束线中,同步辐射的X-射线衍射和反射可用于研究薄膜在真空条件下的结构属性,这也是现代材料研究的一部分。
为了在光束线中直接使用,开发了一体化系统,其中脉冲激光用于将固体靶材带到气相中,然后使其沉积作为衬底上的一层。光束线PLD系统的特点是激光加热(可将衬底加热至1200摄氏度)以及简便加载。一个特殊特征是:由于样本操纵器的尺寸小,即使衬底高度较低,也可实现X-射线的较宽角度范围。