分辨率无可匹敌的X-射线扫描显微镜
PETRA III 处的硬X-射线微米/纳米探针光束线P06采用不同的X-射线技术提供先进的可视化和微米/纳米级空间分辨率。在纳米探针台内,应用ptychographic扫描方案的相干衍射成像可实现空间分辨率降至低纳米级的X-射线显微术。由于PETRA光源的超强亮度,空间分辨率仅10纳米的测量目前已可实现。
X-射线扫描 - 定位检测器时不允许存在误差
为了使用X-射线扫描显微镜实现如此高的分辨率,所有单个定位任务的执行必须采用最佳的可用元器件。例如,定位检测器时,大行程XYZ底座必不可少。此三轴系统的顶部运载着一个大型转台,可选择不同的检测器供特定的X-射线技术使用,这也是需要将振动影响和倾斜误差降至最小的原因。