用于动态微型泵和给药技术的压电陶瓷元件和促动器
微型隔膜泵需要能够提供持续流量并支持可变流速的紧凑型驱动系统。由于每个循环泵送的流体体积较小，要达到高流速，必须保证循环速率高达千赫兹范围。
微型隔膜泵包括阀单元和泵隔膜，其与压电促动器一起形成泵驱动器。
分配量从毫升、微升、纳升一直到皮升。
压电微型泵的应用领域包括实验室技术、医疗技术、生物技术、化学分析和工艺技术，这些领域需要微量液体和气体的可靠计量。
盘型压电陶瓷促动器可直接安装在隔膜上，以使其实现转向。如果隔膜或活塞直接与压电陶瓷促动器耦合，则可以产生更大的泵送范围或泵送力。由于其紧凑的尺寸和压电陶瓷元件的低能耗要求，这些计量设备也适用于芯片实验室应用。
压电陶瓷驱动器也可用于打开和关闭阀门。这里的压电陶瓷产品范围从用于隔膜阀的简单压电陶瓷元件或弯曲型促动器，到用于大动态和大作用力的预载压电板叠促动器，再到即使在高背压下也能进行非常精细计量的压电陶瓷杠杆。
