小型组件和特征的3D分析

为了快速、可靠地测量微小组件和特征的表面轮廓，对运动和控制系统以及传感器技术提出了高要求，从而确保最终产品满足功能和质量要求。选择要使用的传感器技术取决于传感器分辨率、测量范围和数据采集速度等标准。对于基于激光的传感器，还需要考虑焦点尺寸或测量场或视野面积以及聚焦能力。配置运动控制系统时，需要确保传感器快速而精确地放置在感兴趣的点或区域。要满足此要求，需要能够快速移动到位置且具有短稳定时间，或者快速、均匀地扫描特定区域。