小型组件和特征的3D分析

龙门解决方案,实现快速可靠的传感器放置和扫描

为了快速、可靠地测量微小组件和特征的表面轮廓,对运动和控制系统以及传感器技术提出了高要求: 最终产品必须满足功能和质量要求。 所用传感器技术的选择取决于传感器分辨率、测量范围和数据采集速度等标准。 对于基于激光的传感器,还需要考虑焦点尺寸或测量场或视野面积以及聚焦能力。 配置运动控制系统时,需要确保传感器快速而准确地放置在所关注的点或区域。 要满足此要求,需要能够快速移动到位置且具有很短的稳定时间,或者快速、均匀地扫描特定区域。

该运动解决方案的主要特点

紧凑且经济的设计
高度可重复的运动路径
较小的测量光斑尺寸
传感器的高带宽和高分辨率,可实现快速响应
使用步进扫描算法实现更高的吞吐量

XY轴 - 传感器快速步进和扫描运动

  • 高动态无铁芯直线电机可实现精密平稳的快速步进和扫描运动
  • 绝对光栅尺可避免回零并确保运行期间的安全性
  • XY拖链式电缆管理系统维护电缆完好,延长其使用寿命
    >> V-855高速线性平台

Z轴 - 传感器的精密垂直运动

  • 高精度滚珠丝杠线性平台配有步进电机和制动闸,确保操作可靠、定位简单且极其稳定
  • 折叠式动力传动系统和紧凑型设计减少了安装空间
  • 轻量化设计可保持龙门系统动态性能
    >> L-836可堆叠、高度紧凑、通用线性平台

Z轴 - 用于距离控制的传感器聚焦

  • 音圈直接驱动电机可实现无摩擦运行、高扫描频率与快速步进和稳定
  • 高分辨率直线光栅尺,可提供精确的位置反馈
  • 可调式重力补偿可确保操作安全
  • 灵活的安装选配件,易于集成
    >> 用于物镜的V-308音圈PIFOC聚焦驱动器

测量表面深度

  • 光斑尺寸低至2µm,能够测量微小特征并提高定位精度
  • 广阔的工作距离范围
  • 高分辨率与快速速度结合,用于动态自动聚焦补偿和高吞吐量

先进的自动化控制

  • EtherCAT®运动控制和驱动模块提供开放式网络连接
  • 将传感器输出转换为位置数据,并通过模拟或数字接口快速输出
  • 广泛的运动控制器算法可实现快速运动和稳定以及平稳扫描
  • 自动聚焦功能支持动态聚焦调整
    >> 运动控制器

系统运行中

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