晶圆检验和计量

在半导体制造中，为防止产量损失，高效的晶圆检测与计量至关重要。 为此，需进行精确的晶圆定位，以便在每个生产阶段快速、可靠地分析缺陷和颗粒。

PI推出尖端的压电晶圆定位解决方案，在创新设计、先进控制能力和无缝连接性能方面优于传统电磁系统。 该系统采用双功能压电陶瓷促动器、混合运动学和新一代运动控制器，提供超高精确度和可靠性。 该方案能校正晶圆错位，保持精密定位，并通过在静态状态下低能耗运行来消除热量产生。 动态压电调整可确保平面度，补偿角度误差，从而保证一致的聚焦精度。

我们的混合压电陶瓷晶圆平台概念具有多项优点。 压电电机本身具备坚固稳定、自夹紧特性，无需动力即可保持位置。 压电电机不会带来额外的伺服抖动，其高刚性和带宽可用于动态跟踪，或补偿外部干扰和不稳定性。 移动和稳定时间低至10ms以下，以及位置稳定性分别低于5nm和0.05µrad，这款新的压电陶瓷晶圆平台兼具超高性能和杰出性价比。