晶圆检验和计量

高动态且精密的压电晶圆定位解决方案

在半导体制造中,为防止产量损失,高效的晶圆检测与计量至关重要。 为此,需进行精确的晶圆定位,以便在每个生产阶段快速、可靠地分析缺陷和颗粒。

PI推出尖端的压电晶圆定位解决方案,在创新设计、先进控制能力和无缝连接性能方面优于传统电磁系统。 该系统采用双功能压电陶瓷促动器、混合运动学和新一代运动控制器,提供超高精确度和可靠性。 该方案能校正晶圆错位,保持精密定位,并通过在静态状态下低能耗运行来消除热量产生。 动态压电调整可确保平面度,补偿角度误差,从而保证一致的聚焦精度。

主要特点

缺陷和边缘位置误差(EPE)检验
高度自适应的表面检验
高吞吐量
减少动态误差并优化聚焦时间
高占空比下的高可靠性

Z轴 - 动态跟踪

  • 压电电机技术
  • 断电保持能力
  • 高谐振频率,可实现高动态跟踪和修正模式,适用于精细运动。
  • 行程范围:粗动行程高达4mm,微动行程高达50µm
  • 移动和稳定时间<10ms(0.01µm - 50µm)
  • 双向重复精度:10nm(1西格玛)
  • 位置稳定性<5nm

θZ轴 - 高精度运动

  • 压电电机技术
  • 高谐振频率,高稳定性
  • 行程范围:最高精度可达±6mrad,可扩展至360°
  • 移动和稳定时间<20ms(0.1µrad - 100µrad)
  • 双向重复精度:0.5µrad(1西格玛)
  • 位置稳定性<0.05µrad

偏摆轴 - 高稳定性

  • 压电电机技术
  • 高谐振频率,高稳定性
  • 行程范围:高达±2mrad
  • 移动和稳定时间<10ms(0.1µrad - 150µrad)
  • 双向重复精度:0.5µrad(1西格玛)
  • 位置稳定性<0.05µrad

升降销功能 - 集成晶圆升降装置

  • 直流电机传动螺杆
  • 行程>10mm
  • 速度:高达20mm/s
  • 双向重复精度<1µm(1西格玛)

优点

我们的混合压电陶瓷晶圆平台概念具有多项优点。 压电电机本身具备坚固稳定、自夹紧特性,无需动力即可保持位置。 压电电机不会带来额外的伺服抖动,其高刚性和带宽可用于动态跟踪,或补偿外部干扰和不稳定性。 移动和稳定时间低至10ms以下,以及位置稳定性分别低于5nm和0.05µrad,这款新的压电陶瓷晶圆平台兼具超高性能和卓越性价比。

动态操作

与电磁概念相比,PI新开发的压电陶瓷晶圆平台具有显著优势。 由于原生支持晶圆基准对准,因此在定位/移动晶圆之前,模块首先会纠正晶圆的旋转失准,并将晶圆保持在工具下的正确位置。 晶圆厚度和机器静态特性均考虑在内。

该流程完成后,即可关闭促动器并将其保持在适当位置,这样就不再需要能量,因此晶圆区域也不会产生可能影响精度的热量。 这样就无需额外的冷却或平衡。

压电陶瓷促动器的二级模式用于定位和跟踪焦点。 模拟元件模式可实现高动态操作,对平面度和角度误差进行补偿,并确保焦点保持不变。

是否想要更多地了解我们的解决方案?我们的专家乐意效劳。

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