晶圆检验和计量
高动态且精密的压电晶圆定位解决方案
在半导体制造中,为防止产量损失,高效的晶圆检测与计量至关重要。 为此,需进行精确的晶圆定位,以便在每个生产阶段快速、可靠地分析缺陷和颗粒。
PI推出尖端的压电晶圆定位解决方案,在创新设计、先进控制能力和无缝连接性能方面优于传统电磁系统。 该系统采用双功能压电陶瓷促动器、混合运动学和新一代运动控制器,提供超高精确度和可靠性。 该方案能校正晶圆错位,保持精密定位,并通过在静态状态下低能耗运行来消除热量产生。 动态压电调整可确保平面度,补偿角度误差,从而保证一致的聚焦精度。
优点
我们的混合压电陶瓷晶圆平台概念具有多项优点。 压电电机本身具备坚固稳定、自夹紧特性,无需动力即可保持位置。 压电电机不会带来额外的伺服抖动,其高刚性和带宽可用于动态跟踪,或补偿外部干扰和不稳定性。 移动和稳定时间低至10ms以下,以及位置稳定性分别低于5nm和0.05µrad,这款新的压电陶瓷晶圆平台兼具超高性能和卓越性价比。
动态操作
与电磁概念相比,PI新开发的压电陶瓷晶圆平台具有显著优势。 由于原生支持晶圆基准对准,因此在定位/移动晶圆之前,模块首先会纠正晶圆的旋转失准,并将晶圆保持在工具下的正确位置。 晶圆厚度和机器静态特性均考虑在内。
该流程完成后,即可关闭促动器并将其保持在适当位置,这样就不再需要能量,因此晶圆区域也不会产生可能影响精度的热量。 这样就无需额外的冷却或平衡。
压电陶瓷促动器的二级模式用于定位和跟踪焦点。 模拟元件模式可实现高动态操作,对平面度和角度误差进行补偿,并确保焦点保持不变。