批量生产的测试和探测

成本优化的快速对准解决方案,适用于PIC大规模生产

硅光子技术是数据处理、通信、人工智能和量子计算等领域取得突破性进展的基石。 随着全球对硅光子集成电路需求的激增,为了支撑这一快速增长,大规模生产变得至关重要。 PI的尖端技术为探测和测试应用提供了超高精度、速度和可靠性,确保大规模生产的性能。 作为专为自动化和吞吐量优化而设计的解决方案,PI的系统能够精准满足现代硅光子集成电路制造的高要求。 这些先进系统助力制造商在生产过程中提高效率、一致性和品质。

主要特点

紧凑型模块化四自由度或六自由度设计
灵活的配置:从简单的XY装置到完整的六自由度
尖端测试所需的超快速对准算法
快速数据采集与超低噪声测量
待批专利的对准技术,适用于快速处理

XYZ轴 - 光纤到光纤或光纤到波导对准

  • 紧凑型集成XYZ设计,采用直接驱动电机技术,实现高动态性与快速步进和稳定
  • 紧凑的结构设计,采用超精密交叉滚柱轴承,大幅降低角幅值误差,确保探头尖端定位的高度可重复性
  • 集成可调磁性平衡装置,可实现垂直运行,同时显著降低对平台外形的影响
  • 采用低热膨胀系数标尺的高分辨率增量直线光栅尺,实现可重复且精确的定位
    >> 直接驱动直线电机平台

θZ轴 - 光子器件的精密旋转定位

  • 创新的柔性铰链设计,采用直接驱动电机技术
  • 专为高级光子学对准中使用的高动态、短行程、重复性运动序列而设计
  • 经优化的活动平台,便于安装,且直接光学探测时的力臂较小
  • 配备低热膨胀系数标尺的高分辨率增量直线光栅尺

θY和θZ轴 - 安装过程中的精密角度光纤定位

  • 超精密自动角度调整(θY和θZ),可实现高达±4°的行程范围,精度达到微弧度级别
  • 步进电机技术实现偏摆角高刚性,同时XYZ移动和围绕光轴旋转具有高动态性
  • 便于接近PIC或晶圆,减少施加的力矩载荷
  • 创新设计,改善谐振特性,并增强系统稳定性和一阶谐振性能

运动控制

  • 灵活且可扩展的控制器平台
  • 受知识产权保护的内置算法,易于操作
  • 先进的EtherCAT控制系统,配备优化的主处理器,为内置机器学习提供快速信号分析
  • 对多轴位置和模拟电压信号进行快速同步数据处理
  • 实时执行和算法计算
  • 超低噪音驱动器,高分辨率模拟量输入(24位)
    >> A-81x PIglide运动控制器

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