F-572.630 新产品!
具有3个线性轴的光子学对准系统： X、Y、Z；X、Y、Z轴行程为60mm；最大线性轴速度为500mm/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；旋转轴适配器位于底部；包含控制器
新产品
F-572 高性能3至6轴光子学对准系统
由超精密纳米定位线性平台和ACS控制器组成
- 操作简便： 用户可输入负载的目标坐标并自由选择旋转中心；所需的坐标转换由控制器执行
- 坚固耐用，非常适合工业应用
- 通过基于PI算法的集成例程降低生产成本，同时通过主动对准实现最大吞吐量
F-572.64X和F-572.64XN的尺寸
F-572.64Y和F-572.64YN的尺寸
F-572.74X和F-572.74XN的尺寸
F-572.74Y和F-572.74YN的尺寸
F-572.630和F-572.630N的尺寸
F-572.663和F-572.663N的尺寸
F-572.730和F-572.730N的尺寸
F-572.763和F-572.763N的尺寸
F-572 高性能3至6轴光子学对准系统
产品描述
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系统随附一套预配置的ACS控制器，可控制所有轴。 控制器（ACS缓冲区）中已集成用于快速区域扫描与梯度搜索的FMPA例程。 这大大缩短了处理序列中的对准时间，从而降低了相关成本。 作为F-572的补充，可选配用于首次找光的高速PILightning算法。
应用与用例
凭借高负载能力（2kg）和出色的精度，该系统非常适用于以下领域：
高端多芯片级测试
激光雷达（LIDAR）
先进封装
技术
线性轴采用紧凑型高性能磁性线性驱动器，可实现高速度；高分辨率光学线性编码器配合直接测量，可确保高精度控制。 就其负载能力而言，该系统的占地面积极小。 总体而言，该系统非常适合高要求的光子学应用。
控制器与软件
该系统配备具有工业级接口（TCP/IP和EtherCAT）和控制性能良好的ACS控制器，以及采用快速、强大对准算法的用户友好型软件。 可选配PI的高速PILightning算法。
规格
规格
| 运动 | F-572.630[N]F-572.730[N] | F-572.64X[N]F-572.74X[N] | F-572.64Y[N]F-572.74Y[N] | F-572.663[N]F-572.763[N] |
|---|---|---|---|---|
| 主动轴的数量 | 3 | 4 | 4 | 6 |
| 主动线性轴 | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z |
| 主动旋转轴 | — | θX | θY | θX，θY，θZ |
| F‑572.6xx[N]的旋转轴位置 | 底部转接器 | 底部 | 底部 | 底部 |
| F‑572.7xx[N]的旋转轴位置 | 顶部转接器 | 顶部 | 顶部 | 顶部 |
| X、Y和Z轴行程 | 60mm | 60mm | 60mm | 60mm |
| θX轴旋转范围 | — | 17° | — | 12° |
| θY轴旋转范围 | — | — | 17° | 17° |
| θZ轴旋转范围 | — | — | — | 17° |
| X、Y、Z轴最大速度 | 500mm/s | 500mm/s | 500mm/s | 500mm/s |
| θX、θY、θZ轴最大角速度 | — | 10°/s | 10°/s | 10°/s |
| 定位 | F-572.630[N]F-572.730[N] | F-572.64X[N]F-572.74X[N] | F-572.64Y[N]F-572.74Y[N] | F-572.663[N]F-572.763[N] |
| F-572.6xx，F-572.7xx： X、Y、Z轴最小增量运动1） | 50nm | 50nm | 50nm | 50nm |
| F-572.6xxN，F-572.7xxN： X、Y、Z轴最小增量运动1） | 5nm | 5nm | 5nm | 5nm |
| θX、θY、θZ轴最小增量运动1） | — | 5µrad | 5µrad | 5µrad |
| X、Y、Z轴双向重复精度；10%行程1） | 150nm | 150nm | 150nm | 150nm |
| θX、θY、θZ轴双向重复精度；10%行程1） | — | 25µrad | 25µrad | 25µrad |
| 传感器规格 | F-572.630[N]F-572.730[N] | F-572.64X[N]F-572.74X[N] | F-572.64Y[N]F-572.74Y[N] | F-572.663[N]F-572.763[N] |
| X、Y、Z轴传感器类型 | 增量式直线光栅尺 | |||
| X、Y、Z轴传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp | |||
| θX、θY、θZ轴传感器类型 | 增量式直线光栅尺 | |||
| θX、θY、θZ轴传感器信号 | A/B正交，RS-422 | |||
| 驱动特性 | F-572.630[N]F-572.730[N] | F-572.64X[N]F-572.74X[N] | F-572.64Y[N]F-572.74Y[N] | F-572.663[N]F-572.763[N] |
| X、Y、Z轴驱动器类型 | 无铁芯三相直线电机 | |||
| θX、θY、θZ轴驱动器类型 | — | 两相步进电机 | ||
| PWM放大器 | F-572.6xx，F-572.7xx：—F-572.6xxN，F-572.7xxN：是 | |||
| 机械特性 | F-572.630[N]F-572.730[N] | F-572.64X[N]F-572.74X[N] | F-572.64Y[N]F-572.74Y[N] | F-572.663[N]F-572.763[N] |
| 最大有效载荷 | 2kg | 2kg | 2kg | 2kg |
| GND | 13.8kg | 14.5kg | 14.5kg | 16.2kg |
| 含控制器质量 | 约29kg | 约30kg | 约30kg | 约32kg |
| 校准 | F-572 | |||
| 直径100μm的螺旋区域扫描时间2） | <1s | |||
| 直径500μm的螺旋区域扫描时间2） | <10s | |||
| 通过梯度搜索进行信号优化3），±5μm的随机化（重复精度<0.01dB） | 5s | |||
| 对所用功率计的要求 | F-572 | |||
| 最大输出电压范围 | 10V | |||
| 最小带宽 | 20kHz | |||
| 最大噪声级 | 120dBm | |||
| 其他 | F-572.630[N]F-572.730[N] | F-572.64X[N]F-572.74X[N] | F-572.64Y[N]F-572.74Y[N] | F-572.663[N]F-572.763[N] |
| F-572控制器，不带PWM放大器 | G-901K068 | G-901K069 | ||
| F-572控制器，带PWM放大器 | G-901K071 | G-901K072 | ||
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F-572.630N 新产品!
具有3个线性轴的光子学对准系统： X、Y、Z；X、Y、Z轴行程为60mm；最大线性轴速度为500mm/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；旋转轴适配器位于底部；PWM放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.730 新产品!
具有3个线性轴的光子学对准系统： X、Y、Z；X、Y、Z轴行程为60mm；最大线性轴速度为500mm/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；旋转轴适配器位于顶部；包含控制器
F-572.730N 新产品!
具有3个线性轴的光子学对准系统： X、Y、Z；X、Y、Z轴行程为60mm；最大线性轴速度为500mm/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；旋转轴适配器位于顶部；PWM放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.64X 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX；X、Y、Z轴行程为60mm；θX旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；θX轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于底部；包含控制器
F-572.64XN 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX；X、Y、Z轴行程为60mm；θX旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；θX轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于底部；PWM放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.74X 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX；X、Y、Z轴行程为60mm；θX旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；θX轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于顶部；包含控制器
F-572.74XN 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX；X、Y、Z轴行程为60mm；θX旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；θX轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于顶部；PWM放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.64Y 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θY；X、Y、Z轴行程为60mm；θY旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；θY轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于底部；包含控制器
F-572.64YN 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θY；X、Y、Z行程为60mm；θY旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；θY轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于底部；PMW放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.74Y 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θY；X、Y、Z行程为60mm；θY旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；θY轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于顶部；包含控制器
F-572.74YN 新产品!
具有3个线性轴和1个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θY；X、Y、Z行程为60mm；θY旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；θY轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于顶部；PMW放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.663 新产品!
具有3个线性轴和3个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX、θY、θZ；X、Y、Z行程为60mm；θX旋转范围为12°；θY、θZ旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；θX、θY、θZ轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于底部；包含控制器
F-572.663N 新产品!
具有3个线性轴和3个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX、θY、θZ；X、Y、Z行程为60mm；θX旋转范围为12°；θY、θZ旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；θX、θY、θZ轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于底部；PWM放大器；包含带PWM放大器的控制器
F-572.763 新产品!
具有3个线性轴和3个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX、θY、θZ；X、Y、Z行程为60mm；θX旋转范围为12°；θY、θZ旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为50nm；θX、θY、θZ轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于顶部；包含控制器
F-572.763N 新产品!
具有3个线性轴和3个旋转轴的光子学对准系统： X、Y、Z、θX、θY、θZ；X、Y、Z行程为60mm；θX旋转范围为12°；θY、θZ旋转范围为17°；最大线性轴速度为500mm/s；最大旋转轴速度为10°/s；X、Y、Z轴最小增量运动为5nm；θX、θY、θZ轴最小增量运动为5μrad；旋转轴位于顶部；PWM放大器；包含带PWM放大器的控制器
配件
F-572.L01 新产品!
F-572对准系统的固件功能；快速第一束光搜索；用于表面和边缘耦合
F-572.A01 新产品!
F-572校准系统的电缆支架
F-572.A02 新产品!
用于F-572对齐系统面包板安装的适配器板，150mm x 150mm, M6螺纹孔型
F-603.62 新产品!
F-572对准系统的光纤支架，用于表面耦合，8°角
F-603.63 新产品!
F-572对准系统的光纤支架，用于边缘耦合
F-603.64 新产品!
用于F-572对准系统的光纤阵列支架，用于表面耦合，8°角
F-603.65 新产品!
用于F-572对准系统的光纤阵列支架，用于边缘耦合
