尺寸
39×39×100mm~120mm
直径21×100mm；直径30×135mm
轴向力
50，80N
20，50N
可允许的侧向力
达0.5N
行程
10，25mm
最大速度
5mm/s
1.5mm/s
设计分辨率
0.078µm
0.046µm
最小运动量
1μm
空回
10μm
5~10μm
单向重复精度
2μm
电机类型
二相步进电机
带齿轮减速箱的二相步进电机
推荐控制器
C-663单轴控制器
通过电子邮件或电话从当地PI销售工程师处快速获取解答。
