N-111 NEXLINEOEM线性促动器

长行程纳米定位,PiezoWalk®原理

  • 行程为10mm
  • 集成式直接测量线性光栅尺,分辨率为5nm
  • 产生的力高达50N
  • 保持力达70N
N-111 NEXLINEOEM线性促动器
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应用领域

  • 工业级精密定位
  • 半导体技术
  • 半导体测试
  • 晶圆检测
  • 光刻
  • 纳米压印
  • 纳米测量
  • 可在强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk®步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk®步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。 促动器控制可实现以远低于1nm分辨率的最小步进和推进运动。

增量式线性光栅尺用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接测量台子的位置。 非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

适用于复杂真空应用

PI压电电机可设计用于真空,并且适合在强磁场中运行。 特殊版本的驱动器适于此目的。 压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的环境中或无尘室中。

规格

数据表

数据表N-111

版本/日期
2023-01-23
pdf - 697 KB
版本/日期
2023-01-23
pdf - 696 KB
版本/日期
2025-02-28
pdf - 962 KB

下载

数据表

数据表

数据表N-111

版本/日期
2023-01-23
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2023-01-23
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版本/日期
2025-02-28
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文件

文件

用户使用手册MP142

N-111.201和N-111.2A1 NEXLINE® OEM压电步进促动器

版本/日期
1.0.5 2024-05-07
pdf - 1 MB
版本/日期
1.0.5 2024-05-07
pdf - 1 MB

3D模型

3D模型

N-111 3D模型

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N-111.2A1

NEXLINE® OEM线性促动器;NEXLINE®压电陶瓷步进驱动器;行程为10mm;进给力为50N;增量式线性光栅尺;电缆长度为1.5m

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