D-510 PISeca电容传感器
具有优异的位置分辨率的单电极传感器
- 非接触式距离测量
- 绝对位置检测
- 振动测量
- 亚纳米级分辨率
- 灵活的量程
- 简易集成
D-510 PISeca电容传感器
产品描述
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电容式位置传感器可实现最高精度和最长使用寿命
结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹,却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下。
易于操作和集成
所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器,以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。
定制版本/双电极传感器
除了此处列出的标准传感器外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。
D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。
应用领域
工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工。
规格
规格
其他 | D-510.021 | D-510.051 | D-510.101 |
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工作温度范围 | -20至100摄氏度 | -20至100摄氏度 | -20至100摄氏度 |
材料 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
质量 | 8克 (±5%) | 10克 (±5%) | 16克 (±5%) |
合适的连接电缆 | D-891.01x、D-891.02x | D-891.01x、D-891.02x | D-891.01x、D-891.02x |
推荐电控 | E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3 | E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3 | E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3 |
*E-852.10提供扩展量程,两种量程分别经过校准。扩展因子:1、2、2.5、5。
**静态:带宽为10赫兹,动态:带宽为10千赫兹,带E-852评估电控
***标称量程内的线性误差