工业光学检验
灵活的配置 – 快速的步进和稳定 – 纳米级的分辨率
光学检验是工业质量保证中一道必不可少的工序。在工业环境中使用的光学检验系统应提供可靠且可重复的测量结果并实现高吞吐率。这同样适用于工件、样本或试样的移动以及成像光学器件的定位。所使用的定位系统必须具有灵活性,以便沿不同的行程移动平面中的样本以及 沿垂直方向移动光学元件。
样本定位
- 由磁力线性电机所带来的高扫描速度
- 串联轴组合可在样品级或集成XY位移平台上灵活配置行程,从而实现节省空间的设计
- 得益于PIMag线性电机,可灵活调整驱动力和尺寸
- 高分辨率直接测量位置传感器
>> V-508 PIMag精密线性平台