N-472 PiezoMike线性促动器

带用于闭环操作的位置传感器

高稳定性，保持力高达100N
即使闭环控制打开了，静止状态下也可自锁
设计紧凑且带集成增量编码器
进给力为22N
在普通环境条件下，使用寿命>10亿步；在真空条件下，使用寿命>5千万步

报价/订购

带M10x1螺纹的N-472.11x(x)，尺寸单位为mm。（* 行程）

带夹紧螺栓的N-472.12x(x)，尺寸单位为mm。（* 行程）

惯性驱动

采用结构紧凑、成本经济的惯性驱动原理（粘滑驱动）。驱动器在静止状态下可自锁，无需电流，且不产生任何热量。可依靠最大保持力锁定位置。

集成位置传感器

增量编码器测量相对于自由定义的参考位置进行的运动。

机械和光学机械部件的对准

光路稳定调节。长期定位：目标位置上的高稳定性，较长时间停机后仍能可靠启动。通过将压电陶瓷促动器与机械螺纹传动结合，实现高保持力和高分辨率。真空兼容型可达10^-6hPa。

下载数据表转到规格报价/订购

数据表

版本/日期

2026-05-22

pdf - 885 KB

版本/日期

2026-05-22

pdf - 888 KB

版本/日期

2026-10-27

pdf - 940 KB

下载

运动	单位	公差	N-472.110	N-472.110Y	N-472.11V	N-472.120	N-472.120Y	N-472.12V
主动轴			X	X	X	X	X	X
X向行程	mm		7	7	7	7	7	7
X向最大速度，空载	mm/min		2	2	2	2	2	2
X向线性误差	%	典型值	0.3	0.3	0.3	0.3	0.3	0.3

定位	单位	公差	N-472.110	N-472.110Y	N-472.11V	N-472.120	N-472.120Y	N-472.12V
开环步长	nm	典型值	20	20	20	20	20	20
闭环步长	nm	典型值	50	50	50	50	50	50
X向单向重复精度	nm	典型值	±200	±200	±200	±200	±200	±200
集成传感器			增量角度测量系统	增量角度测量系统	增量角度测量系统	增量角度测量系统	增量角度测量系统	增量角度测量系统
传感器信号			正弦/余弦，0.5V峰峰值，差分	正弦/余弦，0.5V峰峰值，差分	正弦/余弦，0.5V峰峰值，差分	正弦/余弦，0.5V峰峰值，差分	正弦/余弦，0.5V峰峰值，差分	正弦/余弦，0.5V峰峰值，差分

驱动特性	单位	公差	N-472.110	N-472.110Y	N-472.11V	N-472.120	N-472.120Y	N-472.12V
驱动类型			压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器	压电惯性驱动器
工作电压，峰峰值	V		80	80	80	80	80	80
最大功耗	W		5	5	5	5	5	5
X向正向运动的驱动力	N	最大	22	22	22	22	22	22
连续运行期间的最大工作频率	Hz		400	400	200	400	400	200
短期最大工作频率	Hz		2000	2000	2000	2000	2000	2000

机械特性	单位	公差	N-472.110	N-472.110Y	N-472.11V	N-472.120	N-472.120Y	N-472.12V
X向保持力，被动	N	最小	100	100	100	100	100	100
总质量	g		200	200	250	200	200	250
材料			丝杆：不锈钢；外壳：铝、青铜	丝杆：不锈钢；外壳：铝、青铜	丝杆：不锈钢；外壳：铝、青铜	丝杆：不锈钢；外壳：铝、青铜	丝杆：不锈钢；外壳：铝、青铜	丝杆：不锈钢；外壳：铝、青铜
机械接口			M10×1安装螺纹	M10×1安装螺纹	M10×1安装螺纹	9.5mm夹紧螺栓	9.5mm夹紧螺栓	9.5mm夹紧螺栓

其他	单位	N-472.110	N-472.110Y	N-472.11V	N-472.120	N-472.120Y	N-472.12V
工作温度范围	°C	10至40	10至40	10至40	10至40	10至40	10至40
真空等级	hPa	—	—	10^-6	—	—	10^-6
接头		D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	裸绞线	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	裸绞线
电缆长度	m	2	2	1	2	2	1
推荐控制器/驱动器		E-873.1AT	E-873.1AT	E-873.1AT	E-873.1AT	E-873.1AT	E-873.1AT

最大速度不适合连续运行（请参见用户手册）

线性误差：22N预载，全行程测量，已补偿温度漂移。

单向重复精度：22N预载，1mm行程处测量，已补偿温度漂移。

真空适配型线缆长度：促动器自带1m连接线，线缆末端为多股绞线；另配2m独立连接线，采用D-sub15公头转接多股绞线。

可按需提供定制版本。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。 “typ.”表示该项参数的统计平均值，并不代表每个交付产品都保证达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

下载数据表转到下载报价/订购

产品注解

版本/日期

2023-01-23

pdf - 86 KB

下载

产品注解

版本/日期

2020-05-20

pdf - 225 KB

English

下载