E-509是一款位置控制模块，内置传感器信号处理电路，适用于集成位置传感器的纳米定位系统。 该模块可自动消除电压控制模式下压电工作产生的漂移或迟滞；当负载发生变化时，通过实时调节压电驱动电压，补偿压电陶瓷促动器的位置偏移。
技术
E-509伺服控制器模块采用比例积分（PI）位置控制，专门针对压电应用优化。 比例项、积分项及控制带宽均可单独调节。 集成陷波滤波器（每轴可单独设置）可提高系统稳定性，使压电系统能在更接近其机械谐振频率的更宽带宽下运行。 因此，根据配套的压电机械结构与传感器类型，定位精度和重复精度可达纳米级。
对于PISeca系列高分辨率单片电容传感器，提供两款型号：E‑509.E03用于信号采集处理，E‑509.E3作为伺服控制器模块。
E-509.C1A/E-509.C2A/E-509.C3A
E-509.S1/E-509.S3
功能
压电机构的传感器信号处理和位置控制电控
轴
1 / 2 / 3
1 / 3
传感器
控制器类型
P-I（模拟）+陷波滤波器
传感器类型
电容式
应变片传感器
传感器通道
1 / 2 /3
传感器带宽
0.3kHz至3kHz（跳线可选）；可按需扩展至10kHz
0.3kHz；1kHz；3kHz
噪声因数
0.115ppm/√Hz
—
热漂移
<0.3mV/°C
<3mV/°C
线性误差
<0.05%
<0.2%
接口和操作
传感器连接器
LEMO EPL.00.250.NTD
LEMO ERA.0S.304.CLL
传感器监控器输出
0V至10V
传感器监控器插座
LEMO 6极FGG.0B.306.CLAD56
BNC（1通道） / LEMO 3极（3通道）
支持功能
ILS
显示器和指示灯
溢流指示灯
环境
工作温度范围
5°C至50°C
尺寸
7HP/3U
质量
350g
工作电压
E-500系统
最大功耗
4W至8W
可按需提供定制版本。
E-500/E-501系列模块化压电控制器：底盘带电源、放大器模块（E-503、E-504、E-505、E-506、E-508）、传感器和伺服控制模块（E-509）、显示和接口模块（E-515、E-517）。
E-509传感器/压电伺服控制模块
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传感器模块/伺服控制器模块，电容式传感器，1轴
传感器模块/伺服控制器模块，电容式传感器，2轴
传感器模块/伺服控制器模块，电容式传感器，3轴
传感器模块/伺服控制器模块，应变片传感器，1轴
传感器模块/伺服控制器模块，应变片传感器，3轴
电容式传感器延长电缆；LEMO接头；1m
电容式传感器延长电缆；LEMO接头；2m
电容式传感器延长电缆；LEMO接头；3m
电容式传感器延长电缆；LEMO接头；5m
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