H-811.I2/I2V 六轴小型六足位移台

快速、紧凑、高精度

行程达±17 毫米 / ±21度
负载容量达5 公斤
重复精度达±0.06 微米
速度达20 毫米/秒
超长使用寿命
可提供真空兼容版本

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H-811.I2, 尺寸单位为毫米

六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小真空兼容型可达10^-6百帕

无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。

科研和工业，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。

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数据表

版本/日期

2024-05-22

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2024-05-22

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运动和定位	H-811.I2 / .I2V**	单位	公差
主动轴	X，Y，Z，θ_X，θ_Y，θ_Z
X、Y向上的行程*	±17, ±16	毫米
Z向上的行程*	±6.5	毫米
θ_X、θ_Y向上的行程*	±10, ±10	°
θ_Z向上的行程*	±21	°
促动器设计分辨率	5	纳米
X、Y向上的最小位移	0.2	微米	典型值
Z向上的最小位移	0.08	微米	典型值
θ_X、θ_Y向上的最小位移	2.5	微弧度	典型值
θ_Z向上的最小位移	5	微弧度	典型值
X、Y向上的空回	0.2	微米	典型值
Z向上的空回	0.06	微米	典型值
θ_X、θ_Y向上的空回	2	微弧度	典型值
θ_Z向上的空回	4	微弧度	典型值
X、Y向上的重复精度	±0.15	微米	典型值
Z向上的重复精度	±0.06	微米	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度	±2	微弧度	典型值
θ_Z向上的重复精度	±3	微弧度	典型值
X、Y和Z向上的最大速度	20 / 10	毫米/秒
θ_X、θ_Y、θ_Z向上的最大速度	500 / 250	毫弧度/秒
Typ. X、Y和Z向上的典型速度	10 / 5	毫米/秒
Typ. θ_X、θ_Y、θ_Z向上的速度	240 / 120	毫弧度/秒

机械特性	H-811.I2 / .I2V**	单位	公差
X、Y向上的刚性	0.7	牛/微米
Z向上的刚性	8	牛/微米
负载能力（底板为水平方向）	5	千克	最大
负载能力（底板为任意方向）	2.5	千克	最大
保持力（断电、底板为水平方向）	15	牛	最大
保持力（断电、底板为任意方向）	2.5	牛	最大
电机类型	BLDC电机

其他	H-811.I2 / .I2V**	单位	公差
工作温度范围	0 到 50	°C
材料	不锈钢，铝
质量	2.2	千克	±5 %
电缆长度	0.5+3/3（空气）+2（真空）	米	±10 毫米
推荐控制器	C-887.5x

技术参数为 20±3 °C下的数值。

* 单个坐标（X、Y、Z、θ_X、θ_Y和θ_Z）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。

**对于真空连续操作，由于发热，可能需要对运行参数进行限制。

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产品注解

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2021-01-15

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2021-04-19

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2020-10-15

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2019-03-04

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2019-03-21

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2024-05-22

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文件

六足位移台系统：带C-887.5xx控制器的H-xxx六足位移台

版本/日期

2.1.0 11/2024

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H-811.I2、H-811.I2V、H-811.F2和H-811.S2小型六足位移台

版本/日期

3.0.0 2024-08-19

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版本/日期

3.0.0 2024-08-19

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3D模型

版本/日期

2024-05-22

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软件档案

版本/日期

1.5.1.0, 2024-10

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H-811.I2

小型六足位移台微型机器人，无刷直流电机，5千克负载容量，20毫米/秒速度，0.5米电缆长度，含3米成套电缆

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H-811.I2V

小型六足位移台微型机器人，无刷直流电机，真空兼容至10^-6 百帕，5 公斤负载容量，10毫米/秒速度，2米电缆长度，含3米成套电缆和引线

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