H-811.I2V
小型六足位移台；无刷直流电机；真空兼容至10-6hPa；有效载荷为5kg；速度为10mm/s；电缆长度为2m（真空侧）；真空接头。 空气端连接电缆不包含在发货范围内，需单独订购。
H-811.I2V 真空兼容小型六足位移台
紧凑、高精度
- 真空：10-6hPa
- 行程：±17mm / ±16mm / ±6.5mm
- 旋转范围：±10° / ±10° / ±21°
- 最小位移：0.2µm / 0.2µm / 0.08µm
- 重复精度：±0.06µm
- 有效载荷：5kg
水平安装时H-811.I2V上的最大负载
垂直安装时H-811.I2V上的最大负载
以最不利角度安装时H-811.I2V上的最大负载
水平安装时作用于H-811.I2V的最大允许力
H-811.I2V, 尺寸单位为毫米，位于标称行程零位。 请注意，在图中使用逗号代表小数点。
带电缆出口的H-811.I2V视图
H-811.I2V 真空兼容小型六足位移台
产品描述
规格
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应用领域
H-811占地面积小，其真空型号完美适配真空室内的安装需求。 其高精度特性使H-811.I2V能以极高精度和效率执行对准流程。 在此类应用中，它可显著提升复杂制造工艺和测量流程的效率。
高动态性能与卓越可靠性的结合
该六足位移台采用并联运动结构，可在超紧凑设计下实现六自由度运动。 得益于无刷直流电机和高刚性机械设计，即使在存在外部干扰时（如胶合工艺），H-811仍能满足主动对准应用所需的动态性能。 丰富的软件工具通过简化系统调试流程，并提供外部模拟控制信号自动对准子程序，为用户提供支持。
运动仿真保护总体系统
PIVirtualMove软件（可免费下载）模拟H-811的行程、对准及允许的力和扭矩，便于优化系统配置。 在此过程中，将同时考虑选定的旋转中心与负载重心。
六足位移台控制器发货时提供免费软件包，内含工件和刀具坐标系及仿真工具， 这些工具有助于保护光学或光子器件等关键组件。
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | H-811.I2V | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| X向上的行程 | ± 17 mm | |
| Y向上的行程 | ± 16 mm | |
| Z向上的行程 | ± 6.5 mm | |
| θX向上的旋转范围 | ± 10 ° | |
| θY向上的旋转范围 | ± 10 ° | |
| θZ向上的旋转范围 | ± 21 ° | |
| X向上的最大速度 | 10 mm/s | |
| X向上的典型速度 | 5 mm/s | |
| Y向上的最大速度 | 10 mm/s | |
| Y向上的典型速度 | 5 mm/s | |
| Z向上的最大速度 | 10 mm/s | |
| Z向上的典型速度 | 5 mm/s | |
| θX向上的最大角速度 | 250 mrad/s | |
| θX向上的典型角速度 | 120 mrad/s | |
| θY向上的最大角速度 | 250 mrad/s | |
| θY向上的典型角速度 | 120 mrad/s | |
| θZ向上的最大角速度 | 250 mrad/s | |
| θZ向上的典型角速度 | 120 mrad/s | |
| 定位 | H-811.I2V | 公差 |
| X向上的最小位移 | 0.2 µm | typ. |
| Y向上的最小位移 | 0.2 µm | typ. |
| Z向上的最小位移 | 0.08 µm | typ. |
| θX向上的最小位移 | 2.5 µrad | typ. |
| θY向上的最小位移 | 2.5 µrad | typ. |
| θZ向上的最小位移 | 5 µrad | typ. |
| X向上的单向重复精度 | ± 0.15 µm | typ. |
| Y向上的单向重复精度 | ± 0.15 µm | typ. |
| Z向上的单向重复精度 | ± 0.06 µm | typ. |
| θX向上的单向重复精度 | ± 2 µrad | typ. |
| θY向上的单向重复精度 | ± 2 µrad | typ. |
| θZ向上的单向重复精度 | ± 3 µrad | typ. |
| X向上的空回 | 0.2 µm | typ. |
| Y向上的空回 | 0.2 µm | typ. |
| Z向上的空回 | 0.06 µm | typ. |
| θX向上的空回 | 2 µrad | typ. |
| θY向上的空回 | 2 µrad | typ. |
| θZ向上的空回 | 4 µrad | typ. |
| 驱动性能 | H-811.I2V | 公差 |
| 驱动类型 | 无刷直流电机 | |
| 机械性能 | H-811.I2V | 公差 |
| X向上的刚性 | 0.7 N/µm | |
| Y向上的刚性 | 0.7 N/µm | |
| Z向上的刚性 | 8 N/µm | |
| 最大负载能力，底板沿水平方向 | 5 kg | |
| 最大负载能力，底板沿任意方向 | 2.5 kg | |
| 最大保持力，底板沿水平方向 | 15 N | |
| 最大保持力，底板沿任意方向 | 2.5 N | |
| 总质量 | 2.2 kg | |
| 材料 | 不锈钢，铝 | |
| 其他 | H-811.I2V | 公差 |
| 工作温度范围 | 0至50 °C | |
| 真空等级 | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| 最高耐温 | 80 °C | |
| 数据传输连接器 | HD D-sub 78针（公头） | |
| 电源电压连接器 | LEMO | |
| 电缆长度 | 2 m | |
| 电源电缆外径 | 4.7 mm | |
| 固定装置的最小弯曲半径，电源 | 50 mm | |
| 数据传输电缆外径 | 6.6 mm | |
| 固定装置的最小弯曲半径，数据传输 | 70 mm | |
| 推荐控制器/驱动器 | C-887.5x |
H-811.I2V标配电缆不是拖链兼容型电缆。
有关数据传输电缆外径的注意事项：数据传输连接由两根末端共用一个接头的电缆组成。 标称直径为每根电缆的直径。
空气端连接电缆不包含在发货范围内，需单独订购。
在真空环境下持续运行时，由于发热可能需要限制运行参数。
测量定位的规格时，使用典型速度。数据以测量报告的形式包含在产品交付中，并存储在PI中。
各个坐标（X、Y、Z、θX、θY、θZ）的最大行程范围是相互依存的。当所有其他轴都处于标称行程范围的零位置并且使用默认坐标系时，或者更确切地说，当旋转中心点设置为0,0,0时，每个轴的数据显示其最大行程范围。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification H-811.I2V
版本/日期
2020-06-08
pdf - 64 KB
English
数据表
文件
3D模型
3D模型
H-811.I2V 3D模型
版本/日期
2024-05-22
zip - 9 MB
软件档案
软件档案
PIVirtualMove
版本/日期
1.6.0.0, 2025-04
zip - 150 MB
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兼容电子元件
相关产品
技术
PI产品的EtherCAT连接性
PI提供高精度驱动器，其可用作EtherCAT从控制器，或与ACS运动控制器集成后用作主控制器，或在现有结构中用作第二主控制器。
真空
认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
六足位移台用作运动模拟器
运动模拟器具对运动动力学具有较高的要求（振动器）。
多轴定位器
六足位移台平台适用于在所有六个自由度（即三根线性轴和三根旋转轴）实现负载的准确定位和校准。
并联运动压电陶瓷定位系统
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。
并联运动
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。这意味着所有轴都被设计成具有相同的动态特性，从而显著减小移动质量。六轴用于在六个自由度上（即三条线性轴和三条旋转轴）实现负载的移动和精准定位、校准以及移置。
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